در برخی مواقع برای تهویه بهتر به همراه فیلتر هپا از فیلتر ULPA نیز است.فاده می شود. و در مسیر هوای خروجی از فیلتر HEPA، فیلتر ULPA را قرا می‌دهند. تا با فیلتر هوای خارج شده از فیلتر HEPA عمل فیلتراسیون با دقت بیشتری انجام گیرد. بر اساس جریان هوای ورودی اتاق‌های تمیز به سه نوع تقسیم‌بندی می‌شوند.

درب اتاق تمیز با درب معمولی تفاوت دارد. به صورت دو لایه و با ضخامت خیلی کم و است.اندارد حدود متر است. تا از ورود آلاینده ها به محیط داخلی جلوگیری شود. درب اصلی اتاق تمیز از جنس آلومینیوم و بدنه از جنس روکش ABC گلاسه ضد خش است.. درب های اتاق تمیز در دو نوع تک لنگه و دو لنگه در سایزهای مختلف تولید میشود. درب هایی که برای اتاق تمیز انتخاب می شوند کاملا صاف بوده و به دیوار نصب می شوند. درب ها دارای بعاد مختلفی می باشند که با توجه به نوع آن ها این اندازه ها فرق دارد. همچنین درب اتاق تمیز قابلیت نصب قفل را نیز دارا می باشد تا افراد متفرقه نتوانند به راحتی به اتاق تمیز وارد شده و از آن خارج شوند.

جهت کار با نمونه هایی به کار می روند که دارای بخارهای شیمیایی و اسیدهای خطرناک می باشند. محفظه داخلی این کابینتها دارای فشار منفی می باشند تا اپراتور کاملاً از خطرات این گازها مصون باشد. این هودها میتوانند همراه با کانال خروجی یا بدون آن باشند.

اتاق تمیز اصولا به محیطی گفته می ‌شود که جهت تولید و یا تحقیقات علمی و صنعتی در آن فعالیت ‌هایی صورت می ‌گیرد و در این محیط مقدار آلاینده ‌های زیست محیطی بسیار پایین ‌تر از حد معمول فضای یک محیط بسته می ‌باشد. آلاینده‌ های معمول عبارتند از: گرد و غبار، میکروب ‌های معلق در فضا و بخار مایعات محیطی. به طور دقیق ‌تر، کلاس های مختلف اتاق تمیز محیطی با آلایش کنترل شده ذرات معلق در فضاست که در هر متر مکعب آن تعداد معینی ذره موجود است..

ساخت اتاق تمیز معمولا در خطوط تولید حساس همچون خطوط داروسازی، صنایع الکترونیک و میکروالکترونیک، غذایی، بیمارستان‌ ها و … به کار می رود، در این محیط ها میزان گرد و غبار، میکروب‌ های هوازی، ذرات معلق و بخارات شیمیایی در سطح پایین و کنترل شده ‌ای نگه داشته می‌ شوند. ذرات معلق در اتاق ‌های تمیز معمولا بر اساس سایز ذرات در واحد متر مکعب و یا فوت مکعب نمایش داده می ‌شوند. به عنوان مثال در کلاس تمیز ، میزان ذرات بزرگ ‌تر از .۵ میکرون باید کمتر از عدد در فوت ‌مکعب باشد و همین میزان در کلاس کمتر از ذره در فوت ‌مکعب می‌ باشد. قابل ذکر است. موی انسان دارای قطر ۵- میکرون می ‌باشد که برابر بیش از یک ذره .۵ میکرونی است.. باید به این نکته توجه داشت که در هنگام ساخت ادوات و ابزاری که ابعادشان کمتر از چند میلی متر است.، حضور آلودگی های میکرونی کاملا خطرناک می باشد. مثلا ضخامت لایه ایجاد شده با روش های لایه نشانی معمولا از چند نانومتر فراتر نمی رود، حضور ذرات و آلودگی ها در محیط می تواند کارایی لایه های ایجاد شده را کاملا مختل نمایند. در صورتی که با میکروسکوپ الکترونی به بررسی سطوح و لایه های ایجاد شده پرداخته شود، مشخص می شود که حضور ذرات به ظاهر ناچیز در محیط کار می تواند منجر به ناکارآمدی قطعات و ادوات ساخته شده شود.